常見故障現(xiàn)象及處理方法系列一：質(zhì)譜無法正常開機

質(zhì)譜長期未使用、異常關(guān)機后可能會出現(xiàn)無法正常開機情況，下面我們介紹一些質(zhì)譜無法正常開機后的處理方法。

一、質(zhì)譜開機步驟及易故障現(xiàn)象

1、檢查氣體壓力是否正常（參考下圖）。

若壓力異常，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無壓力或調(diào)節(jié)閥門無效情況，請及時聯(lián)系工程師檢修氮氣發(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵油量，如需要，請及時更換泵油（請參考：機械泵維護(hù)指南。（超鏈接）

），打開機械泵。

若機械泵無法開機或出現(xiàn)異響，請及時聯(lián)系工程師檢修。

3、約30min后打開質(zhì)譜主機電源，質(zhì)譜指示燈點亮，并在常亮之后開始閃爍。

若指示燈無法點亮，檢查電源線是否松動。若無松動，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、進(jìn)入Analyst軟件，激活質(zhì)譜并打開質(zhì)譜狀態(tài)圖標(biāo)，查看儀器狀態(tài)。

4.1以API 4000為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機械泵正常運轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled，請及時聯(lián)系工程師檢修機械泵。

（2）、觀察Analyzer Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（3）、觀察Interface Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（4）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注：質(zhì)譜狀態(tài)及其含義，請參考邁斯培訓(xùn)系列五：質(zhì)譜報錯怎么辦？軟件死機了怎么辦？（超鏈接）

（5）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge，達(dá)到要求真空度，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色，開機正常。

若無法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4.2 以Triple Quad 5500為例。

（1）、觀察Backing Pump Status，Enabled表示機械泵正常運轉(zhuǎn)。

若出現(xiàn)Disabled，請及時聯(lián)系工程師檢修機械泵。

（2）、觀察Turbo Pump，由初始Accelerating約幾分鐘后變?yōu)?Normal。

若一直處于Accelerating或者OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（3）、觀察Vacuum Gauge，由初始OFF狀，在Analyzer Turbo Pump、Interface Turbo Pump均達(dá)到Normal后約兩分鐘后顯示真空度數(shù)。

若一直處于OFF，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

（4）抽真空過夜，觀察Vacuum Gauge，達(dá)到要求真空度，質(zhì)譜圖標(biāo)變?yōu)辄S色，開機正常。

若無法達(dá)到要求真空度或質(zhì)譜圖標(biāo)變紅，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

注：待機狀態(tài)（CAD=0）真空范圍參考

二、質(zhì)譜異常關(guān)機故障排查

質(zhì)譜在運行過程中突然關(guān)機。

1、檢查氣體壓力是否正常。若壓力異常，調(diào)節(jié)相應(yīng)閥門使之達(dá)到正常壓力。

若出現(xiàn)無壓力或調(diào)節(jié)閥門無效情況，請及時聯(lián)系工程師檢修氮氣發(fā)生器或檢修氣路。

2、檢查機械泵是否正常運轉(zhuǎn)。

若機械泵無法運轉(zhuǎn)，請及時聯(lián)系工程師檢修機械泵。

3、觸摸分子泵外殼溫度是否正常。

若分子泵溫度異常高，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

4、嘗試開機，觀察分子泵運轉(zhuǎn)時聲音是否正常。

若分子泵運轉(zhuǎn)時有異常噪音，請及時聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

5、若無法正常開機，請查看event log并聯(lián)系工程師檢修質(zhì)譜。

請參考邁斯翔禾培訓(xùn)系列二：如何查看和保存 Event Log（超鏈接）

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